進口產品CKD真空閥，喜開理真空電磁閥

基本簡介
真空電磁閥是安裝在機械式真空泵上的閥門。閥門與泵接在同電源上，
泵的開啟與停止直接控制了閥的開啟與關閉。當泵停止工作或電源突然中斷時，
閥能自動將真空系統封閉，并將大氣通過泵的進氣口充入泵腔，
避免泵油返流污染真空系統。真空電磁閥適用的工作介質為空氣及非腐蝕性氣
體。只需1臺即可實現從低真空
高真空的寬域控制
壓力控制 真空壓力比例控制系統 VEC series
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概要
應用實例
寬域 快速切斷、排氣控制自如
本品是在半導體線中，為控制真空室內的真空壓力
而設計的系統。
●各種CVD裝置 ●實驗·研究用途（真空壓力控制）
Close時 Open時
控制時
（低真空）
控制時
（高真空）
※詳情請敝司銷售人員。
進口產品CKD真空閥，喜開理真空電磁閥
·可慢速排氣：避免揚起閥室內的顆粒
·不需另配切斷用真空閥，實現裝置的小型化
滿足用戶不同需求。
⑤ 帶加熱器 ⑥ 變更O型圈
② 大口徑
④ 帶電磁閥
可根據要求，替換各種O型圈
※如需了解可換材料，請敝司銷售人員
為防止附著生成物，還可另配加熱器
※適用口徑：NW25～63
除普通規格外，還提供
NW80～160的大口徑產品
還具有兩段式排氣、耐高溫
等特性
※NW80·100…產品目錄
“干式精密綜合”
NW160…按訂單產品
③ 電動·多控制
EVB系列
通過電動控制，
可在30度范圍內調節開度
實現多控制！
口徑范圍：
NW25·40·50
對操作用電磁閥采取直接連接、
省空間、滿足各種配管要求
① 手動閥
MVB系列
具備AVB系列的全部，
密封結構穩定的手動閥
口徑范圍：
NW16～50
※按訂單 ※按訂單 ※按訂單